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ESC静电吸盘
针对Dry Etch,THINFIN等工艺提供新品以及维修服务,类型分为AMAT,LAM,TEL,尺寸分为8英寸及12英寸,以下为常做且有成熟经验的部分产品料号。
300MM:0010-27983,0010-27430,0010-24456,0010-31581,0040-48594
200MM:0010-13897,0010-03254,0040-18053,0040-18208,0040-18219
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